硅片潔凈烘箱，半導(dǎo)體百級潔凈烤箱概述

硅片潔凈烘箱，半導(dǎo)體百級潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

參數(shù)

主要技術(shù)指標(biāo)

Ø  無塵等級：Class 100;     

Ø  溫度均勻度：±2℃;    

Ø  溫度波動度：±0.5℃（空載）；        

Ø  溫控精度：±0.1℃;

Ø  進(jìn)風(fēng)口：φ6mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制;

排風(fēng)口： φ3”排風(fēng)管（外接φ5＂法蘭）;

箱體結(jié)構(gòu)

a)   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱、過濾器及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成

結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；

b)   箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，可防止微塵；

c)   內(nèi)膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿 性蘇打水清潔

去油污避免烘烤PARTICLE；

完善的安全保護(hù)措施

漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置（上限220℃）、 電熱過電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過電流保護(hù)、 反向保護(hù)裝置、內(nèi)襯防火材料、機(jī)臺異常蜂鳴器、門面安全開關(guān)。