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全氟辛基三氯硅烷涂膠機(jī),抗粘劑PFTS烘箱

全氟辛基三氯硅烷涂膠機(jī),抗粘劑PFTS烘箱

簡要描述:

全氟辛基三氯硅烷涂膠機(jī),抗粘劑PFTS烘箱主要用于納米壓印光刻(NIL)應(yīng)用,防粘涂層的制備,可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠;以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。

全氟辛基三氯硅烷涂膠機(jī),抗粘劑PFTS烘箱的應(yīng)用領(lǐng)域:
       在納米壓印工藝中,要求作為壓印膠的聚合物和基底材料之間能有較強(qiáng)的附著能力,這樣才能保證在退模過程中不會(huì)與基底脫離而導(dǎo)致結(jié)構(gòu)被破壞;同時(shí)聚合物和模板之間應(yīng)有盡可能低的界面能,以防止在退模過程中因聚合物與模板之間發(fā)生粘連影響壓印質(zhì)量用然可以通過選擇合適的材料滿足這樣的要求。因此更多的是采用在模板上修飾抗粘層的辦法。
      硅烷涂膠機(jī)主要用于納米壓印光刻(NIL)應(yīng)用,防粘涂層的制備,可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠;以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
全氟辛基三氯硅烷涂膠機(jī),抗粘劑PFTS烘箱的技術(shù)性能:
容量:1-12寸均可,300*300*300,450*450*450*600*600*600(mm)
硅烷添加劑:1-2種
內(nèi)箱體材質(zhì):316L不銹鋼
氣體輸入:1個(gè)(氮?dú)猓?/span>
工作溫度范圍:80-200/300°C
腔室壓力控制:1tor~100tor
硅烷添加量:2 – 100mL
工藝選擇:可同時(shí)設(shè)定5個(gè)工藝
正常運(yùn)行時(shí)間:> 95%
涂膠原理:氣相沉積法
真空泵:干泵
電源及總功率:AC 220V±10% / 50HZ , 3.5KW    
控制方式:人機(jī)交互+PLC智能操作
操作方式:一鍵運(yùn)行/手動(dòng)操作

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