掩膜版烘烤機，光罩版恒溫熱板

   在集成電路制造領域，光刻技術被用來將圖案從包含電路設計信息的光刻掩膜版上轉移到晶圓(wafer)上，其中的光刻掩膜版(mask)，也稱為光刻版、掩膜版或者光罩，是一種對于曝光光線具有透光性的平板，其上具有對于曝光光線具有遮光性的至少一個幾何圖形，所述幾何圖形為設計圖形，可實現(xiàn)有選擇的遮擋照射到晶片表面光刻膠上的光，并最終在晶圓表面的光刻膠上形成相應的圖案。

掩膜版烘烤機，光罩版恒溫熱板技術參數(shù)

溫度分辨率 ：0.1℃  

溫度波動度：≤±0.5℃        

溫度均勻性：≤±1%℃

電源輸入：AC220V 10A         

加熱功率：600/1500W......

控溫范圍：RT~200/300/400/500/600℃     

頂蓋：SUS304不銹鋼

密封性：保證腔體溫度的穩(wěn)定性，頂蓋接口處密封處理

加熱面板材料：陽極鋁合金,度陶瓷面板，耐高溫不銹鋼

加熱區(qū)：

160*160

220*220

280*200

520*260等多尺寸，可定制

可定制：

分體式；

真空加熱臺；

頂針自動控制；

PIN孔+PIN；

氮氣保護......

  恒溫熱板用于固化光刻膠，固化環(huán)氧塑脂，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。適用于半導體光刻工藝的前烘和堅膜、電路模塊的涂敷燒結和考核等工藝。工業(yè)各行業(yè)恒溫加熱樣品的烘焙、干燥和作其他溫度試驗，是生物、遺傳、醫(yī)藥衛(wèi)生、環(huán)保、生化實驗室、分析室、教學研究的的工具