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HMDS烘箱的價(jià)格,HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的性能

HMDS烘箱的價(jià)格,HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的性能

簡要描述:

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS真空烘箱技術(shù)參數(shù):

電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率:2400W

控溫范圍:RT+10℃-250℃

溫度分辨率:0.1℃

溫度波動(dòng)度:±0.5℃

達(dá)到真空度:133Pa

容積:90L

工作室尺寸(mm):450*450*450

載物托架:2塊

時(shí)間單位:min

二、HMDS真空烘箱特點(diǎn):

1、 采用醫(yī)用級不銹鋼316L材質(zhì)制造,內(nèi)膽為不銹鋼316L;加熱器均勻分布在內(nèi)膽 

    外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀 

    察工作室內(nèi)物體一目了然。

2、 箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。

3、 微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫 

    精確,可靠。

4、 智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套進(jìn)口PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序, 

    溫度,真空度及每一程序時(shí)間。

5、 HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外 

    漏顧慮。

6、 整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造,無發(fā)塵材料,適用100 級光刻間凈化環(huán)境。

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