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抗粘劑涂膠機(jī)，抗粘 劑真空預(yù)處理系統(tǒng)用于半導(dǎo)體，光電、電子行業(yè)硅片或石英硬模板等材料，如制備各種微納電子器件、光學(xué)器件、光電器件、存儲(chǔ)器、微流體通道、生物芯片等微納結(jié)構(gòu)制備方面的應(yīng)用。

抗粘 劑鍍膜機(jī)，抗粘劑蒸鍍機(jī)抗粘劑氣相涂布機(jī)模具在使用前，要涂一層抗粘劑，使得模具和壓印膠之間的粘附性變差，使脫模過程變得容易。

氮?dú)夂嫦?，四箱氮?dú)饪鞠?，不銹鋼充氮烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

勻膠機(jī)，可程式勻膠 機(jī)用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。

智能型烤膠機(jī)，自動(dòng)烤膠臺(tái)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復(fù)性好?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

無氧化恒溫?zé)岚?，氮?dú)獗Ｗo(hù)加熱臺(tái)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、硅片高溫退火，電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，形成高溫、低氧（無氧），特別適合半導(dǎo)體制造、玻璃退火、IC、石英玻璃、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性穿戴技術(shù)研發(fā)、精密模具退火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求。

智能型無塵無氧烘箱、厭氧潔凈烘箱應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB 膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、無塵烘干的特殊工藝要求