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HAST高壓老化壽命試驗箱，高加速溫濕度機臺用于評估非氣密性封裝IC器件、金屬材料等在濕度環(huán)境下的可靠性。通過溫度、濕度、大氣壓力條件下應(yīng)用于加速濕氣的滲透，可通過外部保護材料（塑封料或封口），或在外部保護材料與金屬傳導(dǎo)材料之間界面。它采用了嚴格的溫度，濕度，大氣壓、電壓條件，該條件會加速水分滲透到材料內(nèi)部與金屬導(dǎo)體之間的電化學(xué)反應(yīng)。

高加速溫濕度試驗機，高壓加速老化試驗箱主要用于對電工、電子產(chǎn)品、半導(dǎo)體、IC芯片、固態(tài)存儲器、DRAM、閃存卡及模塊、元器件、零部件、金屬材料、塑料晶體管外形封裝等產(chǎn)品測試。

高精度加熱臺，精密熱板用于固化光刻膠，固化環(huán)氧塑脂，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。適用于半導(dǎo)體光刻工藝的前烘和堅膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。

電容烘箱，可程式工業(yè)烘箱技術(shù)先進、設(shè)備性能穩(wěn)定、使用可靠，操作簡單，維修方便，同時考慮 方案的經(jīng)濟性和可實施性，結(jié)合試品特點和試驗程序?qū)嶋H情況，實現(xiàn)低投入高產(chǎn)出。

充氮PI烤箱，PI充氮烤箱用于PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求適合半導(dǎo)體制造、COB封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求，廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等行業(yè)。

晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱晶圓退火需進行升溫處理，升溫處理具有多個升溫階段,每個升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個區(qū)域在每個所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個區(qū)域進行保溫處理;對多個區(qū)域采用氮氣保護，該氮氣烘箱采用輔助降溫方式進行降溫處理。

無氧烘箱，智能無氧雙層烘箱可選用條形碼上傳IT后，接收由IT比對下載制程數(shù)據(jù)或直接接收IT所下載制程數(shù)據(jù)方式，系統(tǒng)并自動將制程寫入溫控器，達到遠程制程下載，避免人員制程選擇操作錯誤問題；