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智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵

簡要描述:

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵密封設(shè)計(電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路*隔開)延長了軸承的使用壽命, 還可提供潔凈、無油的真空條件??蛇x的集成入口保護(hù)閥內(nèi)置于泵模塊中, 可根據(jù)需要使用,不會額外增加泵的高度。

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵說明

    IDP-10 渦旋式干泵是一款緊湊、高性能的無油真空泵,易于維護(hù)。在世 界各地不同的頻率和輸入電壓下,變頻驅(qū)動電機(jī)均可提供均一的真空性能。

密封設(shè)計(電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路*隔開)延長了軸承的使用壽命, 還可提供潔凈、無油的真空條件??蛇x的集成入口保護(hù)閥內(nèi)置于泵模塊中, 可根據(jù)需要使用,不會額外增加泵的高度。

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵技術(shù)性能

最高抽速                           全速條件下 170 L/min (10.2 m3/h)

 

介質(zhì)

氣體

極限壓力

2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)

最大入口壓力

1.0 個大氣壓 (0 psig)

推薦的最大連續(xù)入口壓力

2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)

標(biāo)稱電壓下最大出口壓力

1.34 個大氣壓 (5 psig)

入口連接

NW25

排氣口連接

NW16

氣鎮(zhèn)

0.25 英寸美國標(biāo)準(zhǔn)管內(nèi)螺紋(提供 20 µm燒結(jié)插頭)

SAE-2 5/16-24

根據(jù) Pneurop 6602 處理水蒸氣

最大 120 g/h

運行環(huán)境溫度

5-40 °C 41-104 °F

儲存溫度

–20-60 °C (–4-140 °F)

馬達(dá)額定功率

0.5 HP (350 W); 3? 變頻驅(qū)動

工作電壓

100-127; 200-240 VAC, 50/60 Hz

馬達(dá)熱保護(hù)

自動熱保護(hù)

工作速度

63.33 Hz: 1900 rpm; 45 Hz: 1350 rpm

冷卻系統(tǒng)

風(fēng)冷

重量

僅泵:  24.74 kg 54.5 ),運輸重量:  28.1 kg 62 磅)

尺寸(高 ×  ×  (mm)

297 × 260 × 420

泄漏速度(密封排氣口時)

< 1 × 10-6 sccs (1 × 10-6 mbar.l/s)

噪音水平

53 +/- 2 dB (A)

入口處振動水平

7 mms-1 rms

計時器

提供一體式計時器

輻射與抗擾性

EN 61236-1:2013,屬 A 類設(shè)備

安全性

通過 EN/IEC 61010 第 3 版認(rèn)證


   HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。


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