掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷?,增強表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。
碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中氮化鎵(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化鎵等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用
HMDS烘箱真空泵,IDP10無油泵泵具有密封設(shè)計,電機和軸承與真空環(huán)路全隔離,延長了軸承的使用壽命,并提供潔凈、無油的真空條件。IDP 泵采用單面渦旋設(shè)計,可通過簡單的工具在 15 分鐘內(nèi)完成維護操作??蛇x的集成式隔離閥防止意外污染,并且不會額外增加泵的高度。
HMDS烤箱,HMDS真空烘箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。