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HMDS鍍膜機(jī),黃光區(qū)鍍膜設(shè)備
HMDS鍍膜機(jī),黃光區(qū)鍍膜設(shè)備

HMDS鍍膜機(jī),黃光區(qū)鍍膜設(shè)備通過對(duì)烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

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硅片HMDS涂布機(jī)臺(tái),4寸Wafer hmds烤箱
硅片HMDS涂布機(jī)臺(tái),4寸Wafer hmds烤箱

硅片HMDS涂布機(jī)臺(tái),4寸Wafer hmds烤箱是將 HMDS 涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

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HMDS鍍膜烤箱,HMDS真空鍍膜系統(tǒng)
HMDS鍍膜烤箱,HMDS真空鍍膜系統(tǒng)

HMDS鍍膜烤箱,HMDS真空鍍膜系統(tǒng)預(yù)處理性能更好,更加均勻;效率高,一次可以處理多達(dá)4盒的晶片;更加節(jié)省藥液;低液報(bào)警、防藥液泄漏等具有很強(qiáng)的安全保護(hù)功能;,有可自動(dòng)吸取添加HMDS功能,智能型的程式設(shè)定,一鍵完成作業(yè)。

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智能型HMDS烤箱定做,不銹鋼HMDS烘箱
智能型HMDS烤箱定做,不銹鋼HMDS烘箱

智能型HMDS烤箱定做,不銹鋼HMDS烘箱預(yù)處理性能更好,更加均勻;效率高,一次可以處理多達(dá)4盒的晶片;更加節(jié)省藥液;低液報(bào)警、防藥液泄漏等具有很強(qiáng)的安全保護(hù)功能;,有可自動(dòng)吸取添加HMDS功能,智能型的程式設(shè)定,一鍵完成作業(yè)。

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HMDS烘箱,hmds預(yù)處理烘箱
HMDS烘箱,hmds預(yù)處理烘箱

將HMDS涂到樣品表面后,經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物,將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷?,此疏水性能HMDS烘箱,hmds預(yù)處理烘箱夠很好的與光刻膠結(jié)合,增加了樣品表面與光刻膠的粘附作用。

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HMDS真空烘箱處理系統(tǒng)
HMDS真空烘箱處理系統(tǒng)

HMDS真空烘箱處理系統(tǒng):性能更好,由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會(huì)有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個(gè)容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-160℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低,所以有著更好的處理效果。

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HMDS真空烘箱
HMDS真空烘箱

HMDS真空烘箱預(yù)處理性能更好,由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會(huì)有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個(gè)容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-160℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低,所以有著更好的處理效果。

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